[IMID 2019] OLEDON, 기존 증착기에서 2250ppi AMOLED 대량 생산이 가능한 “독립형 벨트면소스” 증착원 개발!

세계최초로 면소스와 벨트면소스 증착 기술을 개발하는 OLEDON의 황창훈 대표는 기존 증착기에서 2250ppi까지 고해상도의 AMOLED의 제조가 가능한 stand alone 타입 (독립형) 벨트면소스 FMM 증착기술을 경주에서 열린 IMID 2019에서 발표하여 이목을 끌었다.

황대표에 따르면 독립형 벨트면소스를 기존 증착기에 설치한 다음, 기존의 리니어소스로 유기물을 증발하여 벨트금속면에 1차 증착 한 후, 벨트금속면을 롤러 이송하여 상향식 재증발을 수행하면 800~2250ppi의 고해상도를 구현할 수 있다.

<사진: 올레드온사가 개발한 Stand-Alone 타입 벨트면소스, source : OLEDON>

이어서 황 대표는 최근 APS 홀딩스가 제작한 1058ppi의 FMM 마스크를 사용하여 미세패턴의 박막을 형성해 보니 패턴폭 5um, 세도우거리 0.2μm 을 가지는 2250ppi 고해상도의 OLED 패턴 박막을 확인하였다고 밝혔다.

현재 생산되는 550ppi AMOLED 소자의 패턴폭은 16um, 세도우거리는 3um를 가지는데 비해, 이번에 발표된 결과는 해상도를 4배이상 향상할 수 있을 것으로 기대를 모으고 있다. 2015년 이후로 모바일용 OLED의 해상도는 600ppi의 장벽을 못 넘고 있기 때문에, UHD급의 OLED 소자의 대량 생산과 부품의 안정적인 공급을 위해서는 새로운 국산 증착원이 절대적으로 필요한 상황이다.

이 외에도, OLEDON은 박막 균일도 및 세도우의 제어가 가능하여 생산되는 소자의 해상도의 향상이 가능한 곡면소스와 패턴드 곡면소스도 개발에 성공하였다고 소개하였으며, 기존의 연구용 장비에서 바로 사용이 가능한 회전형 면소스도 개발하여 제품 판매를 하고 있다고 밝혔다.

<사진: 곡면소스와 패턴드 곡면소스, source : OLEDON>

<사진: 회전형 면소스, source : OLEDON>

한편 OLEDON은 면소스, 회전면소스와 곡면소스, 패턴드 면소스, 벨트면소스 증착원에 대한 원천특허를 포함하여 총 30편 이상의 면소스 증착기술에 관련된 특허를 보유하고 있다.

<사진: 올레드온사가 보유한 stand alone 타입 벨트면소스 원천 특허, source : OLEDON>