AUO, IGZO TFT를 적용한 32 inch OLED display 기술 공개

AUO, IGZO TFT를 적용한 32 inch OLED display 기술 공개

AUO는 SID 2012에서 32인치 OLED display 기술을 공개했다.
AUO의 32인치 OLED display는 FPD international 2011에서 처음으로 선보였다. 해상도는 1920 x 1080, 휘도는 200cd/m², Contrast ratio는 100,000 :1 이다.

AUO의 32인치 OLED는 IGZO (In-Ga-Zn-O) TFT를 적용했다. 캐리어 이동도가 14.1cm²/Vs, 최소 전압은 약 1.4V이다.

IGZO TFT 구조는 bottom gate구조이며, 총 7장의 photo mask가 사용되었다. Photo mask가 상ㅇ된 공정은 (1) 게이트 전극(Al / Mo), (2) 채널 계층 (IGZO), (3) 에칭 스토퍼 층 (SiOx), (4) 소스 / 드레인 전극 (MoN / Al / MoN), (5) 보호 막(passivation, SiOx / SiNx), (6) 양극 전극 (ITO), (7) Bank 층 (유기 막)이다. IGZO 층의 성막은 DC 스퍼터링 기술을 이용했다. AUO의 IGZO TFT를 적용한 32인치 LCD 패널에는 총 5장의 photo mask가 사용되었으나, OLED를 형성하는 마스크가 추가되었다.

AUO의 OLED device 구조는 bottom emission 방식으로 저분자 RGB 발광재료를 metal mask에의해 분할 증착했다.
Source : techon

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