SolMateS, 무손상 ITO 증착 기술 개발

네덜란드의 증착 장비 전문 업체 SolMateS는 새로운 OLED 증착공정을 개발했다고 밝혔다.

SolMateS에서 이번에 개발한 증착공정은 Full transparent OLED 공정으로 SolMateS의pulsed laser deposition(PLD)를 기반으로 한 ‘soft-landing’이라는 기술로서 이미 특허도 확보하였다. SolMateS에 의하면, sputtering과 같은 기존의 증착기술은 organic layers에 손상을 줄 수 있지만, ‘soft-landing’ 방법은 균등한 공정 온도에서 진행되어 ITO thin layer를 OLED 위에 손상 없이 쌓을 수 있다고 한다.

최근 테스트 결과 80%의 투명도를 가진 OLED가 투명도가 없는 aluminum electrode의OLED와 기능상 큰 차이를 보이지 않았다고 밝혔다. 또한 sputter의 속도로 ITO가 증착되었고, 200mm의 PLD tool이 가능하다.

SolMateS의 CEO인 Arjen Janssens는 ‘PLD 기술은 투명 조명, 디스플레이, 스마트 윈도우나top emitting OLED display와 같은 multiple transparent를 이용한 OLED 어플리케이션에 사용될 수 있으며, 고효율 organic solar cells에도 큰 도움이 될 것이다.’라고 언급 했다.

SolMateS는 2006년 네덜란드에서 시작되었으며, 레이저 증착을 기반으로 한 증착장비 공급업체이다.

Source – SolMateS

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