<V-technology의 non-tenstion 구조의 fine hybrid mask>

5일에 개최된 Finetech Japan 2017에서 V-technology는 738 ppi의 UHD가 구현 가능한 FHM(Fine Hybrid Mask)를 공개하였다.

 
기존의 FMM(Fine Metal Mask)는 가장(架張)과 용접을 통해 만들어진다. 그러나 이러한 방식은 제조가 까다로울 뿐만 아니라, 패턴(구멍)과 자중에 의한 처짐 등과 같은 mask의 구조적인 한계로 인해 고해상도 구현이 어려웠다.

 
지난 Finetech Japan 2015에서 V-technology는 이러한 단점을 개선한 FMM의 컨셉을 공개한바 있다. 그러나 2년 후, 이번 2017에서는 컨셉을 넘어 양산 가능한 prototype의 FHM(Fine Hybrid Mask)를 공개하였다.

V-technology의 FHM은 기존 FMM 제조 방식과 다른 electroforming 방식과 nontension 구조를 채택했다. 해당 관계자는 이를 통해 FMM 무게를 기존 대비 1/10 수준까지 줄였으며, 자중에 의해 mask가 휘는 문제와 이에 따른 그림자 간섭 문제를 해결할 수 있었음을 언급하였다.

또한, 제조 공정 방식을 변경함으로써 FMM의 정밀도 향상시켜 738ppi의 UHD 구현이 가능해 졌음을 덧붙였다.

<V-technology의 수직형 증착 시스템(Vertical deposition system) 컨셉>

V-technology는 FHM와 더불어 FHM을 활용할 수 있는 수직형 증착 시스템(Vertical deposition system)의 컨셉을 선보였다. 이 시스템은 glass 기판과 FHM을 수직으로 반송 할 수 있으며, glass 기판과 FHM 각각 최대 2장까지 넣어 동시 증착이 가능하다.

 
또한, V-technology 관계자는 수직형 증착 시스템은 source와 FHM 사이의 간격을 줄여, 확산광으로 인한 step coverage와 uniformity 저하 문제를 개선하였다고 언급하였으며, 증착 장비가 수직형 타입이기 때문에 particle이 FHM 또는 glass 기판에 부착되기는 어려워 수율 향상이 가능하다고 말했다.

최근 소비자의 고해상도에 대한 니즈는 증가하고 있으며, 이를 충족시키기 위한 업계의 움직이 활발한 상태인 지금, V-technology의 FHM이 어떠한 해결책으로 작용될지 앞으로의 행보에 귀추가 주목된다.