28일 개최한 iMiD 2017에서 단국대학교의 실험실 벤처 OLEDON사 대표 황창훈 교수는 2250ppi를 구현할 수 있는 면소스 FMM 증착 기술에 대해 발표하였다.

황창훈 교수의 발표에 따르면, OLEDON에서 개발한 면소스 증착 기술은 기존 유기물 증착 방식과 다르다. 면소스 FMM 증착 기술은 유기물을 금속면에 1차로 증착하여 도너 박막을 형성하고 면소스를 만든 후, 이를 재 증발시켜 기판에 유기물 박막을 형성하는 원리이다. 이 기술을 적용하면 유기물은 면증발로 인해 수직성 기체빔을 형성하게 된다. (원천특허:1012061620000 대한민국)

OLEDON사가 개발한 면소스로 유기물을 증착 했을 때의 섀도우 거리는 0.38 um – 0.59 um이다. 이는 4 um의 패턴 사이즈를 가지는 2250ppi 소자를 제작할 수 있는 수준이다.

황창훈 교수는 ‘면소스 증착 기술을 적용하면 유기물 기체의 입사각이 줄어들어 마스크에 의한 섀도우 현상을 획기적으로 줄일 수 있다’고 설명했다. 또한, ‘면소스는 수직성 유기물 기체빔이 완전 제로 입사각을 형성할 수 있어 이론적으로 섀도우 거리가 제로 um도 가능하다’고 덧붙였다.

<OLEDON사가 개발한 면소스 증착 기술 원리>

또한, 이번 발표에서 황창훈 교수는 ‘면소스 증착기술은 고해상도용 섀도우마스크의 제작에도 필수적’이라 강조했다.

현재 양산에 적용중인 리니어 소스 FMM의 경우 섀도우 마스크의 오프닝간 거리는 80um이다. 이로 인해 유기물 기체빔의 입사각은 커질 수 밖에 없어 고밀도 패턴을 가지는 섀도우 마스크 제작이 어려운 실정이다.

황창훈 교수는 ‘면소스 증착 기술을 이용하면 섀도우 마스크의 테이핑 각도는 80° 수준이다’며 ‘오프닝간 거리를 20 um미만까지 줄일 수 있어 면소스 증착 기술은 리니어 소스가 가지는 마스크 패턴 밀도 문제를 해결할 수 있다’고 설명했다.

OLEDON사는 면소스 증착 기술로 완전 shadow-free 패터닝 조건에 도전하고 있으며, 단국대학교의 진병두교수팀과 공동으로 11K급 마이크로 OLED 소자의 제조가 가능한 면소스 FMM 증착기를 단국대학교내에 개발 설치할 계획이다. (참고:OLEDON사의 홈페이지 www.oledon.co.kr)

<면소스 FMM 증착기술을 사용시 섀도우마스크의 오프닝밀도 변화>

한편, OLEDON사은 양산용 면소스 FMM 증착기에 대한 13건의 등록특허를 보유하고 있다. 최근 연구 결과를 토대로 양산장비 신규특허 7건을 국내출원 하였으며, 3건을 PCT 국제출원 중이다.