[29th FINETECH JAPAN] V-technology, 1,000ppi까지 가능한 fine hybrid mask 공개

2019년 12월 4일부터 6일까지 일본 도쿄 마쿠하리 메세에서 열리고 있는 29th FINETECH JAPAN에서 V-technology는 1,000ppi까지 구현 가능한 FHM(fine hybrid mask)를 공개하였다.

현재 상용화 되고 있는 FMM(fine metal mask)는 제조가 까다롭고 자중에 의한 처짐으로 인해 600ppi 이상의 고해상도 구현이 어려웠다.

V-technology가 공개한 FHM은 먼저 유리 기판 상부에 polyimide layer와 Ni로 이루어진 seed layer를 형성한 뒤, 포토 공정을 통해 격벽을 만든 후 electroforming 기술로 Ni pattern layer를 형성하는 방식이다. 그 후, 격벽을 제거한 뒤 오픈 마스크 웰딩과 결함 시킨 후 유리 기판을 laser lift off 공정을 통해 제거한다.

V-technology에 따르면 해당 FHM의 두께는 polyimide까지 모두 포함하여 15 um 이하 수준이며,마스크 무게는 Gen6 half 기준으로 2 kg 정도이다. 업체 관계자는 FHM의 무게가 매우 가볍기 때문에 수직 증착에도 적용 가능하며, 기존의 FMM용 프레임을 사용하여 상용화 되고 있는 증착 챔버에서도 사용 가능하다고 밝혔다.

끝으로, V-technology에서는 수율을 밝힐 수는 없지만 높은 수율을 통해 FMM보다 싼 가격으로 고객사들에게 FHM을 제공하는 것을 목표로 하고 있다고 언급하였다.

현재 600ppi 이하에 머물고 있는 OLED 스마트폰이 FHM을 통해 그 이상의 해상도를 구현할 수 있을지 주목된다.