OLEDON, “초격차” AMOLED, “초대면적” QD-OLED TV 제조용 벨트면소스 증착기술 개발중!

신개념의 OLED 증착장비 개발 벤처회사인 OLEDON사 (대표: 황창훈)는 11월30일 코엑스에서 열리는 유비산업리서치 2018년 OLED 산업결산 세미나에서 양산용 “초격차” AMOLED 제조 기술인 벨트면소스 FMM 증착기술과 “초대면적” QD-OLED TV 제조용 수직 벨트면소스 증착기술을 발표할 예정이다.
올레드온사에서 세계최초로 이미 개발에 성공한 면소스의 증착원리는 금속면에 1차 유기물을 증착하고 난뒤, 이를 상향식으로 재증발하여 유기물 기체의 수직증발을 유도하여 2250ppi의 초고해상도의 미세 패턴을 제작하는 신개념 증착기술이다. 이러한 면소스 공정에는 1차증착, 면소스 인버전, 2차 증발의 세가지 공정이 필수적이며, 양산에 적용 시 그에 따른 고진공챔버의 수도 증가한다. 이번에 올레드온에서 소개하는 벨트면소스 FMM 증착기술은 한 증착기내에서 위의 여러기능을 한번에 하는 개념으로서, 금속면을 벨트형태로 구성한 연속 면소스 공급형 증착기술이다.

 

(사진: 벨트형 면소스FMM 증착기, Source : OLEDON)

황창훈대표의 설명에 따르면, 벨트면소스를 이용하면, 증착챔버를 새로이 제작하지 않고도, 기존의 6세대 리니어소스 FMM 증착기에 바로 적용이 가능한 개념이라고 밝혔다. 이를 활용하면, 조만간, 스마트폰에 탑재하는 AMOLED 소자와 VR 디스플레이의 해상도가 획기적으로 향상될 것으로 보인다.

또한 황창훈대표는 수직벨트면소스를 사용하면, QD-OLED TV용 12세대급 초대면적 기판을 처짐 없이 원활한 증착공정이 가능하다고 밝혔다. 수직벨트면소스 증착기는 기판을 세워서 증착하는 개념으로, 프레임드기판척(framed glass chuck)과 오픈마스크의 하중부담이 매우 적어져 로봇이송이 용이하고, 정지상태에서 균일한 초대면적 박막의 증착공정이 가능하여, 8세대는 물론, 향후 10세대이상 기판크기의 클러스터형 양산용 증착기에 활용이 가능할 것으로 보인다.

 

(사진: QD-OLED제조용 수직벨트형 면소스 증착기. Source : OLEDON)

 

황창훈대표는 최근 블루물질의 물질변성시험과 블루도판트 증착시험을 성공적으로 마쳤다고 밝히며, 한국이 현재의 OLED 생산국 1위를 유지하려면, 창의적 핵심증착 기술개발 도전에 적극 투자하여야 한다고 하며, 미래형 중소형 및 대형 OLED 제조는 모두 면소스 증착기술을 사용하게 될것이라고 전망했다. 한편 올레드온사는 면소스 및 벨트면소스 증착기에 대한 원천특허를 포함하여 30여편의 관련 특허를 보유하고 있으며, 최근 양산용 수직벨트면소스증착기에 관련한 특허를 출원하기도 하였다.