[상반기 OLED 결산 세미나] 그래핀랩,도금 메탈 마스크로 ppi 한계 넘는다

그래핀 상용화 기술 기업인 GrapheneLab에서 그래핀을 이용한 800ppi 이상의 FMM 제조가 가능하다고 발표했다.
23일 서울 삼성동 코엑스에서 열린 ‘유비리서치 2022년 상반기 OLED 결산 세미나’에서 GrapheneLab의 권용덕 대표는 “2000년대 초반부터 시작된 FMM 기술은 초기에는 plating 방식에는 관심이 없었지만 최근에는 FMM 제조 기술 트렌드가 plating방식으로 변화하고 있다”고 말하며 “2013년도 이후에는 plating 방식의 FMM 제조 기술 관련 특허가 많이 출원되었으며, 고 해상도로 가기 위해서는 현재 사용되는 etching 방식보다 plating 방식을 적용하는 것이 용이하다”고 언급했다.


이어 권 대표는 “기존의 한계가 있던 etching 방식 FMM에서 벗어나 plating 방식의 FMM을 적용한 결과 동일한 두께에서 400ppi가 한계였던 etching 방식에 비해 plating 방식에서는 600ppi 이상을 구현했다”고 말하며 “Etched metal mask는 깊이 20um etching시 점처럼 뾰족해지는 INVAR 구조에 의해 8um길이의 dead zone이 발생되는 반면 plated metal mask의 pattern plating시에는 dead zone의 발생이 없다”고 발표했다.
끝으로 권 대표는 “MSAP electro forming 기술을 위해서 얇은 두께의 낮은 열팽창계수가 필요하다. Plated된 시료를 대상으로 TMA를 이용해 열팽창계수를 측정한 결과 3.1ppm까지 로 측정되었으며, 열처리를 하지 않은 상태에서는 2.5ppm까지 내려갔다”고 강조하며 발표를 마쳤다.