주성엔지니어링, 8세대급 초박막 OLED 봉지 장비 (2022 디스플레이 총괄 워크샵)

2022년 11월 9일부터 11일까지 휘닉스평창에서 열린 ‘2022 디스플레이 총괄 워크샵’에서 주성엔지니어링이 8세대급 초박막 OLED 봉지 장비 기술 개발 연구 과제에 대한 발표를 진행했다.

주성엔지니어링, 8세대급 초박막 OLED 봉지 장비 (2022 디스플레이 총괄 워크샵)

주성엔지니어링은 연구 과제의 필요성에 대해 “2028년까지 대형 OLED 시장이 지속적으로 성장할 것으로 예상됨에 따라, 높은 해상도 구현과 저전력에서의 휘도 확보를 위한 top emission 구조가 필수적이고, 이를 위한 고성능 박막 봉지가 필요하다”며 “한국은 OLED 세계 1등 국가임에도 해외 장비 의존도가 매우 높다. 시장 확보가 어려운 기존 모바일 시장보다는 고부가 대면적 OLED용 8세대 봉지 장비 시장 선점 및 global standard화가 필요하다”고 언급했다.

주성엔지니어링은 해당 연구과제 중 1세부 주관으로 1차년도에 6세대 half 장비에 대한 저수소 SiON 공정 확보를 완료했다고 밝혔다. 1차년도 1세부 과제 연구 내용으로는 6G half ALDCVD 평가와 4점식 개별 구동 mask align 개발, 6G half ESC 개발 등이 있다.

주성엔지니어링, 8세대급 초박막 OLED 봉지 장비 (2022 디스플레이 총괄 워크샵)

2차년도인 2022년에는 8세대 half 장비에 대한 저수소 복합막 평가를 진행중이다. 6G half 및 8G half 장비를 이용한 단위 공정 평가는 11월 중 평가 예정이며, 2차년도 1세부 과제 연구 내용으로는 ESC 양산 검증과 8G half ALC/CVD Hybrid 제작, 8G TC/LL 제작 등이 있다.

끝으로 “연구 과제의 기대 효과로 소재-부품-장비 기업의 글로벌 경쟁력 강화와 원천 기술 확보 효과가 나타나며, 국내 대기업들도 외국 장비의 의존도 감소와 개발 속도 향상의 이점이 있다. 국가적으로는 고용안정 및 일자리 창출은 물론이고 소재, 부품, 장비 수입국에서 수출국으로 전환할 수 있는 좋은 기회가 될 수 있다”고 강조하며 발표를 마쳤다.